更新时间：2024-08-16 17:34:03
形貌厚度自动测量设备-面模式（MO-1000）
设备简介：
设备采用红外干涉法保证测量精度；点云扫描技术，全面覆盖整个产品表面；高冗余平台兼容4-12寸晶圆。
设备特点：
1. 精度高：运用红外干涉法和“相位偏折术”，重复精度达到0.1u。
2. 灵敏度高：通过“相位偏折术”可以高效监控到nm级别的工艺偏差。
3. 应用范围广：可以测量和检查各种镜面材料的表面形状和厚度。
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