更新时间：2025-09-22 09:38:55
形貌厚度自动测量设备-桌面式（MO-3000）
设备简介：
设备采用光谱共焦或光学干涉法高精度量测，自研高精度运动平台保证测量稳定可靠，采用三点支撑方式减少晶圆污染风险。
设备特点：
高性价比
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