更新时间：2025-09-22 09:51:20
AOI缺陷检测-有图缺陷检测（KE-3000）
设备简介：
用于FAB成膜、Etch，CMP等不同工艺检测，明场、暗场多通道图像采集，保证图形质量，结合AI算法，提升检测品质，核心部件运行稳定可靠。
应用领域：
主要缺陷类型Bump、Particle、Scrathe、Dirt。
典型缺陷：
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