更新时间：2026-09-23 14:09:43
形貌厚度自动测量设备-面模式（MO-2000）
设备简介：
1.设备采用光谱共焦法对衬底进行精确量测；高运动平台保证量测精度稳定可靠；三点支撑方式减少晶圆污染风险。
技术特点：
1. 低损耗：三点支撑降低晶圆污染风险
2.应用广泛：切磨抛各工艺都可以应对
3.兼容性强：兼容透明、不透明多种材质
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