
随着数字化、智能化的到来,半导体行业的热度不断高涨。尤其是量子信息和人工智能等高科技领域的快速发展,推动了半导体以及多功能器件技术的快速更新和迭代。为适应高性能、低成本的要求,业界将目光投向了第四代半导体,而最受瞩目的莫过于氧化镓。
凭借着一系列优异的材料特性,氧化镓有望改变当前的复合半导体市场,让国内芯片厂商实现弯道超车。但氧化镓材料仍面临着诸多挑战,本文就其优势、挑战和市场前景作了较为详尽的阐述。
中国于2023年8月1日起,对半导体原料的镓、锗实行严格的出口限制。业内对此意见不一,许多人将此举视为对荷兰ASML公司加大光刻机出口限制的一种反应。然而,2022年8月美国在对中国的出口禁令中,也包括了一种高纯半导体材料——氧化镓。美国商业部的工业安全管理局(BIS)宣布对耐高温耐高压的四代半导体材料——氧化镓和金刚石,还有专为3nm及以下芯片设计而生的EAD软件,都纳入了出口管制范围。当时并没有太多人注意到这一点,但一年之后,中国对镓进行了出口控制,这才引起了业界对第四代半导体关键原料的重视。
在半导体行业中,镓和锗是一种重要的原材料,在第一代到第四代半导体中都有应用。在摩尔定律面临瓶颈的今天,具有更大禁带宽度的半导体材料如金刚石、氧化镓、AlN及BN等,其优异的物理性能有可能成为下一代信息技术的驱动力。
对于中国来说,半导体技术的发展已经到了一个非常重要的阶段,尤其是美国的各种制裁,更是让这一技术的突破发展变得极为关键。虽然面临着巨大的挑战,但只要我们能够在这场半导体技术革命中取得局部突破,中国就有可能从“制造大国”变成“制造强国”。而三代半导体和四代半导体的应用发展,就是中国半导体技术获得突破的最好机会。

氧化镓,这种第四代半导体材料,具备禁带宽度大(4.8 eV)、临界击穿场强高(8MV/cm)、导通特性好等优势。氧化镓有五种已确认的结晶形态,其中最稳定的是β-Ga2O3。其禁带宽度为4.8~4.9 eV,击穿场强高达8 MV/cm,而其导通电阻比SiC、GaN低得多,极大降低了器件的导通损耗。其特性参数巴利加优质(BFOM)高达3400,大约是SiC的10倍、GaN的4倍。

相比于碳化硅和氮化镓,氧化镓的生长过程可以使用常压下的液态熔体法,这使得其品质高、产量大且成本低。但 SiC、GaN等材料因其特殊性质,目前仅能采用气相法制备,且需保持较高的温度、较高的能耗。这意味着在生产上,氧化镓会占据一定的成本优势,而国内的工厂也会迅速扩大产能。
与SiC相比,氧化镓在各方面都优于SiC。特别是其较大的禁带宽度和较高的击穿场强,使得它在大功率和高频率应用中具有显著优势。

氧化镓的发展前景日益凸显,该市场当前主要由日本的Novel Crystal Technology (NCT)和Flosfia两大巨头垄断。NCT自2012年开始投入氧化镓的研发,成功突破多项关键技术,包括2英寸氧化镓晶体与外延技术,以及氧化镓材料的量产等。在2021年成功量产4英寸氧化镓晶圆,并已开始供应客户晶圆,为日本在第三代化合物半导体竞赛中再度保持领先。
据NCT预测,氧化镓晶圆的市场在未来十年将放量增长,到2030年度将扩大到约30.2亿元人民币规模。FLOSFIA预测,到2025年,氧化镓功率器件市场规模将开始超过氮化镓,2030年将达到15.42亿美元(约100亿元人民币)。
根据富士经济的预测,到2030年,氧化镓功率元件市场规模将达到1,542亿日元(约92.76亿元人民币),将超过氮化镓功率元件的市场规模。这种趋势反映了氧化镓在功率电子设备中的重要性及其未来的潜力。
新能源车市场的发展,为氧化镓提供了巨大的应用场景。然而国内在车规级功率器件方面一直很薄弱,目前尚无车规的SiC MOS IDM。虽然有几家在XFab代工的Fabless企业可以快速具备较为全面的SBD和MOS规格推向市场,销售和融资进展较为顺利,但是未来仍要自建FAB 形成IDM掌握产能、研发独有工艺,才能产生差异化的竞争优势。
充电桩对成本敏感的需求,也为氧化镓提供了另一个机会。如果能满足甚至超过性能需求的同时,以成本优势获得市场的认可,那么氧化镓在这个领域的应用就有很大的可能性。
在射频器件市场,氧化镓的市场容量可参考氮化镓器件的市场。
在工业领域,氧化镓同样有很多机会和优势,市场对单极替换双极,更高的能效,易于大规模生产,及高可靠性有着强烈的需求,这些需求使得氧化镓在未来的电力应用中可能扮演重要角色。
长期看,氧化镓的功率器件预计将650V/1200V/1700V/3300V的市场中发挥作用,并预计在2025年至2030年将全面渗透车载和电气设备领域。短期来说,氧化镓的功率器件将首先在消费电子、家电以及高可靠、高性能的工业电源等领域出现。
专家认为,未来几年氧化镓的竞争焦点将集中在400V平台的常规使用及650V的器件领域。这个领域涉及到开关频率、能量损耗、芯片成本、系统成本和可靠性等多个因素,而这些因素正是氧化镓的特点。然而,随着技术的进步,平台可能升级为800V,因此必须配置1200V或1700V的器件,这就深入了Ga2O3的优势领域。
总的来说,氧化镓在功率器件领域有很大的潜力,能够在多个领域与SiC、GaN等材料形成竞争和互补。但是,新材料在逆变器和充电器等应用上的渗透需要时间,需要不断进行特定应用场景的开发,并逐步推向市场。
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