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半导体视觉检测光源系统介绍
发布时间:2025-01-15 14:41:41      点击次数:828

一套完整的半导体视觉检测系统主要包含图像采集部分和图像分析部分,而图像采集部分主要有工业相机、工业镜头以及机器视觉光源承担,今天我们主要介绍机器视觉光源的相关基础知识及选型技巧。


首先我们需要了解,机器视觉中的光源起到哪些作用:

1、照亮目标,提高亮度;

2、形成有利于图像处理的成像效果,降低系统的复杂 性和对图像处理算法的要求;

3、克服环境光干扰,保证图像稳定性,提高系统的精度、效率;


通过恰当的光源照明设计,可以使图像中的目标信息与背景信息得到最佳分离,这样不仅大大降低图像处理的算法难度,同时提高系统的精度和可靠性,但非常遗憾,目前没有一个通用的机器视觉照明系统,可以应对不同的检测要求,因此针对每个特定的案例,都需要设计适应的照明装置,以达到最佳效果,而不合适的照明,则会引起很多问题,机器视觉光源如此重要,却往往被很多人忽视。


目前机器视觉光源主要采用LED(发光二极管),由于其形状自由度高,使用寿命长、响应速度快、单色性好、颜色多样、综合性价比高等特点在行业内广泛应用:


01

形状自由度

一个LED光源是由许多单个LED组合而成的,因而跟其他光源相比,可做成更多的形状,更容易针对用户的情况,设计光源的形状和尺寸。


02

使用寿命长

为了使图像处理单元得到精确的,重复性好的测量结果,照明系统必须保证相当长的时间内能够提供稳定的图像输入。LED光源在连续工作10,000到30,000小时后,亮度衰减,但远比其他型式的光源效果好。此外,用控制系统使其间断工作,可抑制发光管发热,寿命也将延长一倍。


03

响应速度快

LED发光管响应时间很短,响应时间的真正意义是能按要求保证多个光源之间或一个光源不同区域之间的工作切换,采用专用控制器给LED光源供电时,达到最大照度的时间小于10s。


04

颜色多样

除了光源的形状以外,得到稳定图像输入的另一方面就是选择光源的颜色。甚至相同形状的光源,由于颜色的不同得到的图像也会有很大的差别。实际上,如何利用光源颜色的技术特性得到最佳对比度的图像效果一直是光源开发的主要方向。


05

综合运营成本低

选用低廉而性能没有保证的产品,初次投资的节省很快会被日常的维护、维修费用抵消。其他光源不仅耗电是LED光源的2-10倍,而且几乎每月就要更换,浪费了维修工程师许多宝贵的时间。而且投入使用的光源越多,在器件更换和人工方面的花费就越大,因此选用寿命长的LED光源从长远看是很经济的。



01

机器视觉照明技术基础知识



01

照明方式

选择不同的光源,控制和调节照射到物体上的入射光的方向是机器视觉系统设计的最基本的参数,它取决于光源的类型和相对于物体放置的位置,一般来说有二种最基本的方式:直射光和漫射光,所有其它的方式都是从这二种方法中延伸出来的。



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直射光:入射光基本上来自一个方向,射角小,它能投射出物体阴影;

 漫射光:入射光来自多个方向,甚至于所有的方向,   它不会投射出明显的阴影;

02

反射方式

物体反射光线有两种不同的反射特性:直反射和漫反射



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直反射:光线的反射角等于入射角。直反射时图像明亮,有时可能产生极强的眩耀,在大多数情况应避免镜面反射。

 漫反散:照射到物体上的光从各个方向漫散出去。在   大多数实际情况下,漫散光在某个角度范围内形成,   并取决于入射光的角度,成像较暗。

03

颜色

光谱中很大的一部分电磁波谱是人眼可见的,在这个波长范围内的电磁辐射被称作可见光,范围在400nm至760nm之间(有的人可以观测到380nm-780nm),即从紫色380nm到红色780nm。



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04

明视场和暗视场

明视场是最常用的照明方案,采用正面直射光照射形成,而暗视场主要由低角度或背光照明形成,对于不同项目检测需求,选择不同类型的照明方式,一般来说暗视场会使背景呈现黑暗,而被检物体则呈现明亮。

05

光源分类

目前主要有以下集中分类方式:

a)颜色

常用光源颜色集中在可见光范围,主要有白光(复合光)、红色、蓝色、绿色,另外红外光也比较普及,而紫外光由于各种原因,应用较少;

b)外形

各厂家会根据不同光源外形特性进行分类,也是目前的主流分类,比如环形光源、环形低角度光源、条形光源、圆顶光源(碗光源/穹顶光源)、面光源等;

c)工作原理/特性

不同的应用方式或者原理进行分类,主要有无影光源、同轴光源、点光源、线光源、背光源、组合光源以及结构光源等;


02

常见的光源类型及照明方式


01

明场照明

光源直接照射到物体上,反射光或透射光直接进入相机或传感器。成像的亮度主要由物体的反射率、透光率以及物体的形状和结构决定。



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当我们需要得到高对比度物体图像的时候,这种类型的光很有效。但是当我们用它照在光亮或反射的材料上时,会引起像镜面的反光。通用照明一般采用环状或点状照明。环光是一种常用的通用照明方式,其很容易安装在镜头,可给漫反射表面提供足够的照明。

02

暗场照明

暗场照明非常适合检测微小的表面缺陷或边缘结构。



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例如:表面微小缺陷检测:如裂纹、颗粒、划痕等微小的表面缺陷。

透明或半透明材料的检测:如玻璃、薄膜的表面缺陷检测

03

背光照明

从物体背面射过来均匀视场的光,通过相机可以看到物面的侧面轮廓。



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背光照明常用于测量物休的尺寸和物体的方向。背光照明产生了很强的对比度。应用背光技术时候,物体表面特征可能会丢失。例如,用背光技术测量硬币的直径,但是却无法判断硬币的正反面。

04

漫反射照明

连续漫反射照明应用于物体表面的反射性或者表面有复杂的角度。



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通过漫反射对衬底表面的缺陷检测有良好的检出效果,也是主流的衬底表面缺陷检测技术之一。

05

同轴照明

同轴光的形成--通过垂直墙壁出来的发散光,射到一个使光向下的分光镜上,相机从上面通过分光镜看物体。这种类型的光源对检测高反射的物体特别有帮助,还适合受周围环境产生阴影的影响,检测面积不明显的物体。



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06

偏振光照明

只允许振动方向平行于其允许方向的光能通过,垂直分量被截止。此种照明方式对晶圆表面的微小缺陷有良好检出能力。

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针对具体的应用,从众多的方案中选择一个最好的照明系统是整个图像处理系统稳定工作的关键,以上将主要的照明系统做了一个大概介绍,大家根据需求选择不同的照明系统。



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