激光三角法测量‌是一种利用激光进行测距的技术，其基本原理是通过光学反射规律和相似三角形原理来测量物体的距离。该方法通过一束激光以一定的入射角度照射被测目标，激光在目标表面发生反射和散射，然后在另一角度利用透镜对反射激光汇聚成像，光斑成像在电荷耦合器件（CCD）位置传感器上。当被测物体沿激光方向发生移动时，位置传感器上的光斑将产生移动，其位移大小对应被测物体的移动距离，因此可以通过算法设计，由光斑位移距离计算出被测物体与基线的距离值。

优点‌：

‌高精度‌：激光三角法测距的精度较高，能够满足大多数商用和民用需求。

‌低成本‌：相比其他高精度测距方法，如脉冲法和相干法，激光三角法对硬件要求较低，成本也较低。‌

缺点：

从扫描原理图可以看出，激光三角法扫描时，受Bump pitch越来越小的影响，入射阴影会越来越严重，从而影响测量精度，而且最为致命的是Bump pitch却是不断在缩小，因此激光三角法越来越难以应对先进封装的工艺要求。

垂直扫描干涉法测量的原理：‌主要基于光的干涉现象。当两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源相遇时，会产生光的干涉现象。通过特定的测量方法，可以确定物体表面的高度信息。

优点：

‌高精度‌：干涉测量法可以达到亚微米的测量精度，甚至纳米级别的分辨率，适用于高精度的表面粗糙度测量‌。

‌高灵敏度‌：能够捕捉到微小的光斑变化，适用于需要高精度检测的应用场景。

最重要的优点是：垂直扫描干涉法，避免了Bump pitch不断缩小产生的阴影测量偏差，符合先进封装Bump工艺的发展方向。

缺点：

‌设备成本高‌：干涉测量法需要使用高精度的干涉仪等专用设备，这些设备的成本通常较高，增加了整体检测系统的成本‌。